Advantages of hydrogen peroxide as an oxidant for atomic layer deposition and related novel delivery system

  1. Spiegelman, J.
  2. Alvarez Jr., D.
  3. Holmes, R.J.
  4. Heinlein, E.
  5. Shamsi, Z.
Actas:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605114712

Año de publicación: 2013

Volumen: 1494

Páginas: 209-214

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1557/OPL.2013.582 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus