Advantages of hydrogen peroxide as an oxidant for atomic layer deposition and related novel delivery system

  1. Spiegelman, J.
  2. Alvarez Jr., D.
  3. Holmes, R.J.
  4. Heinlein, E.
  5. Shamsi, Z.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium Proceedings

ISSN: 0272-9172

ISBN: 9781605114712

Datum der Publikation: 2013

Ausgabe: 1494

Seiten: 209-214

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/OPL.2013.582 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus