Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets

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Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 2017

Volumen: 332

Páginas: 80-85

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2017.07.083 GOOGLE SCHOLAR
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