Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets

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Zeitschrift:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Datum der Publikation: 2017

Ausgabe: 332

Seiten: 80-85

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SURFCOAT.2017.07.083 GOOGLE SCHOLAR

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