Direct chemical in-depth profile analysis and thickness quantification of nanometer multilayers using pulsed-rf-GD-TOFMS

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Revista:
Analytical and Bioanalytical Chemistry

ISSN: 1618-2642,  1618-2650

Año de publicación: 2010

Volumen: 396

Número: 8

Páginas: 2881-2887

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/S00216-009-3382-8 GOOGLE SCHOLAR
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