Direct chemical in-depth profile analysis and thickness quantification of nanometer multilayers using pulsed-rf-GD-TOFMS
- Valledor, R.
- Pisonero, J.
- Bordel, N.
- Martín, J.I.
- Quirós, C.
- Tempez, A.
- Sanz-Medel, A.
ISSN: 1618-2642, 1618-2650
Any de publicació: 2010
Volum: 396
Número: 8
Pàgines: 2881-2887
Tipus: Article