Direct chemical in-depth profile analysis and thickness quantification of nanometer multilayers using pulsed-rf-GD-TOFMS
- Valledor, R.
- Pisonero, J.
- Bordel, N.
- Martín, J.I.
- Quirós, C.
- Tempez, A.
- Sanz-Medel, A.
ISSN: 1618-2642, 1618-2650
Datum der Publikation: 2010
Ausgabe: 396
Nummer: 8
Seiten: 2881-2887
Art: Artikel