Conoscopic holography based profilometers for defect inspection: Improvements in speed, resolution and noise reduction

  1. Álvarez, I.
  2. Enguita, J.M.
  3. Marina, C.F.J.
  4. Fernández, Y.
Actas:
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering

ISSN: 0277-786X

ISBN: 9780819462459

Año de publicación: 2006

Volumen: 6189

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.661455 GOOGLE SCHOLAR
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