Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

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Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 1520-8559,  0734-2101

Datum der Publikation: 2017

Ausgabe: 35

Nummer: 2

Art: Artikel

DOI: 10.1116/1.4973214 GOOGLE SCHOLAR

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