The use of HI-ERDA/RBS and NRA/RBS to depth profile N in GaAs1-xNx thin films

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2008

Volumen: 266

Número: 8

Páginas: 1450-1454

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2008.01.024 GOOGLE SCHOLAR
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