The use of HI-ERDA/RBS and NRA/RBS to depth profile N in GaAs1-xNx thin films

  1. Smith, R.W.
  2. Plaza, J.
  3. Ghita, D.
  4. Sánchez, M.
  5. García, B.J.
  6. Muñoz-Martín, A.
  7. Climent-Font, A.
Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 266

Nummer: 8

Seiten: 1450-1454

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.NIMB.2008.01.024 GOOGLE SCHOLAR
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