The effect of glow discharge sputtering on the analysis of metal oxide films

  1. Malherbe, J.
  2. Martinez, H.
  3. Fernández, B.
  4. Pécheyran, C.
  5. Donard, O.F.X.
Aldizkaria:
Spectrochimica Acta - Part B Atomic Spectroscopy

ISSN: 0584-8547

Argitalpen urtea: 2009

Alea: 64

Zenbakia: 2

Orrialdeak: 155-166

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/J.SAB.2008.11.009 GOOGLE SCHOLAR