The effect of glow discharge sputtering on the analysis of metal oxide films

  1. Malherbe, J.
  2. Martinez, H.
  3. Fernández, B.
  4. Pécheyran, C.
  5. Donard, O.F.X.
Zeitschrift:
Spectrochimica Acta - Part B Atomic Spectroscopy

ISSN: 0584-8547

Datum der Publikation: 2009

Ausgabe: 64

Nummer: 2

Seiten: 155-166

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.SAB.2008.11.009 GOOGLE SCHOLAR
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