Quantitative chemical depth profiles of ZrN/BN multilayers

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Revista:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Año de publicación: 1998

Volumen: 26

Número: 11

Páginas: 806-814

Tipo: Artículo

DOI: 10.1002/(SICI)1096-9918(199810)26:11<806::AID-SIA426>3.0.CO;2-2 GOOGLE SCHOLAR
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