Quantitative chemical depth profiles of ZrN/BN multilayers

  1. Sanz, J.M.
  2. Prieto, P.
  3. Quiros, C.
  4. Elizalde, E.
  5. Fernandez, A.
  6. Perez-Casero, R.
Zeitschrift:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Datum der Publikation: 1998

Ausgabe: 26

Nummer: 11

Seiten: 806-814

Art: Artikel

DOI: 10.1002/(SICI)1096-9918(199810)26:11<806::AID-SIA426>3.0.CO;2-2 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus