Determination of resputtering yields in carbon nitride films grown by dual ion beam sputtering

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Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 2000

Volumen: 125

Número: 1-3

Páginas: 366-370

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0257-8972(99)00618-0 GOOGLE SCHOLAR
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