Analytical potential of rf-PGD-TOFMS for depth profiling of an oxidized thin film composite

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  2. Pisonero, J.
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  5. Sanz-Medel, A.
  6. Bordel, N.
Zeitschrift:
Journal of Analytical Atomic Spectrometry

ISSN: 1364-5544 0267-9477

Datum der Publikation: 2016

Ausgabe: 31

Nummer: 1

Seiten: 288-296

Art: Artikel

DOI: 10.1039/C5JA00104H GOOGLE SCHOLAR