Low-temperature amorphous boron nitride on Si 0.7 Ge 0.3 (001), Cu, and HOPG from sequential exposures of N 2 H 4 and BCl 3

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2018

Volumen: 439

Páginas: 689-696

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2018.01.038 GOOGLE SCHOLAR