Low-temperature amorphous boron nitride on Si 0.7 Ge 0.3 (001), Cu, and HOPG from sequential exposures of N 2 H 4 and BCl 3
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Revista:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Año de publicación: 2018
Volumen: 439
Páginas: 689-696
Tipo: Artículo