Two-Step Resist Deposition of E-Beam Patterned Thick Py Nanostructures for X-ray Microscopy
- Hermosa, J.
- Hierro-Rodríguez, A.
- Quirós, C.
- Vélez, M.
- Sorrentino, A.
- Aballe, L.
- Pereiro, E.
- Ferrer, S.
- Martín, J.I.
Zeitschrift:
Micromachines
ISSN: 2072-666X
Datum der Publikation: 2022
Ausgabe: 13
Nummer: 2
Art: Artikel
