Characterization of carbon nitride thin films prepared by dual ion beam sputtering
- Fernández, A.
- Prieto, P.
- Quirós, C.
- Sanz, J.M.
- Martin, J.-M.
- Vacher, B.
ISSN: 0003-6951
Any de publicació: 1996
Volum: 69
Número: 6
Pàgines: 764-766
Tipus: Article