Carbon nitride films synthesized by dual ion beam sputtering

  1. Prieto, P.
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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1997

Volumen: 122

Número: 3

Páginas: 534-537

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0168-583X(96)00566-6 GOOGLE SCHOLAR
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