Effect of operation parameters on the sputtering and emission processes in radiofrequency glow discharge. A comparison with the direct-current mode

  1. Perez, Covadonga
  2. Pereiro, Rosario
  3. Bordel, Nerea
  4. Sanz-Medel, Alfredo
Revista:
Spectrochimica acta, Part B: Atomic spectroscopy

ISSN: 0584-8547

Año de publicación: 1998

Volumen: 53

Número: 11

Páginas: 1541-1551

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0584-8547(98)00185-2 GOOGLE SCHOLAR

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