SEM-based system for 100nm x-ray tomography for the analysis of porous silicon

  1. Bleuet, P.
  2. Laloum, D.
  3. Audoit, G.
  4. Torrecillas, R.
  5. Gaillard, F-X.
Colección de libros:
DEVELOPMENTS IN X-RAY TOMOGRAPHY IX
  1. Stock, SR (coord.)

ISSN: 0277-786X,  1996-756X

ISBN: 978-1-62841-239-0

Año de publicación: 2014

Volumen: 9212

Congreso: Conference on Developments in X-Ray Tomography IX

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1117/12.2059065 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: WoS