Purge gases for the removal of airborne molecular contamination during the storage and transport of silicon wafers

  1. Holmes, R.J.
  2. Tram, A.
  3. Flores, R.
  4. Spiegelman, J.J.
  5. Alvarez Jr., D.
Actas:
Proceedings - Electrochemical Society

ISBN: 9781566774680

Año de publicación: 2005

Volumen: PV 2005-12

Páginas: 251-258

Tipo: Aportación congreso