Improved uniformity for thin oxides when using wet thermal oxidation

  1. Alvarez Jr., D.
  2. Spiegelman, J.
Actas:
Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference

ISSN: 0160-8371

ISBN: 9781467300643

Año de publicación: 2012

Páginas: 1121-1124

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/PVSC.2012.6317799 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus