New chemical vapor delivery systems for surface cleaning
- Alvarez Jr., D.
- Spiegelman, J.
- Heinlein, E.
- Ramos, C.
- Holmes, R.J.
- Shamsi, Z.
ISSN: 1012-0394
ISBN: 9783037855270
Año de publicación: 2013
Volumen: 195
Páginas: 25-29
Tipo: Aportación congreso