Surface passivation of new channel materials utilizing hydrogen peroxide and hydrazine gas

  1. Alvarez, D.
  2. Spiegelman, J.J.
  3. Kummel, A.C.
  4. Edmonds, M.
  5. Sardashti, K.
  6. Wolf, S.
  7. Holmes, R.
Colección de libros:
Solid State Phenomena

ISSN: 1662-9779,  1012-0394

ISBN: 9783035710847

Año de publicación: 2016

Volumen: 255

Páginas: 31-35

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.4028/WWW.SCIENTIFIC.NET/SSP.255.31 GOOGLE SCHOLAR
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