Novel oxidants and sources of nitrogen for atomic layer deposition

  1. Alvarez, D.
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Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781607687146

Año de publicación: 2016

Volumen: 72

Número: 4

Páginas: 243-248

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/07204.0243ECST GOOGLE SCHOLAR
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