Ultra-high purity hydrazine delivery for low temperature metal nitride ALD

  1. Alvarez, D.
  2. Spiegelman, J.
  3. Holmes, R.
  4. Andachi, K.
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Actas:
ECS Transactions

ISSN: 1938-5862,  1938-6737

ISBN: 9781607688082

Año de publicación: 2017

Volumen: 77

Número: 5

Páginas: 219-225

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1149/07705.0219ECST GOOGLE SCHOLAR
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