Self-limiting CVD of a passivating SiOx control layer on InGaAs(001)-(2x4) with the prevention of III-V oxidation

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Revista:
Surface Science

ISSN: 0039-6028

Año de publicación: 2017

Volumen: 660

Páginas: 31-38

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SUSC.2017.02.006 GOOGLE SCHOLAR
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