Low temperature thermal ALD TaN x and TiN x films from anhydrous N 2 H 4

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 2018

Volumen: 462

Páginas: 1029-1035

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2018.07.153 GOOGLE SCHOLAR
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