Deposition of High Thermal Conductivity AlN Heat Spreader Films

  1. Ueda, S.T.
  2. McLeod, A.
  3. Chen, M.
  4. Perez, C.
  5. Pop, E.
  6. Alvarez, D.
  7. Kummel, A.C.
Actas:
2020 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications, VLSI-TSA 2020

ISBN: 9781728142326

Año de publicación: 2020

Páginas: 110-111

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1109/VLSI-TSA48913.2020.9203721 GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus