IBA study of SiGe/SiO2 nanostructured multilayers

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 2014

Volumen: 331

Páginas: 89-92

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.NIMB.2013.11.025 GOOGLE SCHOLAR
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