Design and performance of two orthogonal extraction time-of-flight secondary ion mass spectrometers for focused ion beam instruments

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Revista:
Instrumentation Science and Technology

ISSN: 1525-6030 1073-9149

Año de publicación: 2014

Volumen: 42

Número: 4

Páginas: 432-445

Tipo: Artículo

DOI: 10.1080/10739149.2013.878843 GOOGLE SCHOLAR