Atomic Layer Epitaxy by isothermal closed space sublimation
- De Melo, O.
- Purón, E.
- Sánchez, M.
- Larramendi, E.
- Hernández, L.C.
- Tobeñas, S.
- Tamura, M.
- Cruz-Gandarilla, F.
- Garduño, M.H.
ISSN: 0217-9849
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 15
Nummer: 17-19
Seiten: 579-584
Art: Konferenz-Beitrag