Depth profiling with modified dc-Grimm and rf-Grimm-type glow discharges operated with high gas flow rates and coupled to a high-resolution mass spectrometer

  1. Pisonero, J.
  2. Feldmann, I.
  3. Bordel, N.
  4. Sanz-Medel, A.
  5. Jakubowski, N.
Revista:
Analytical and Bioanalytical Chemistry

ISSN: 1618-2642

Año de publicación: 2005

Volumen: 382

Número: 8

Páginas: 1965-1974

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/S00216-005-3357-3 GOOGLE SCHOLAR
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