Characterization of Zr thin films grown by dual ion-beam sputtering

  1. Trigo, J.
  2. Elizalde, E.
  3. Quirós, C.
  4. Sanz, J.
Revista:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Año de publicación: 1994

Volumen: 45

Número: 10-11

Páginas: 1039-1041

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0042-207X(94)90017-5 GOOGLE SCHOLAR
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