Thin BN films obtained by dual-ion-beam sputtering: An FT-IR and spectroscopic ellipsometry characterization

  1. Quirós, C.
  2. Prieto, P.
  3. Trigo, J.F.
  4. Elizalde, E.
  5. Sanz, J.M.
Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1996

Volumen: 112

Número: 1-4

Páginas: 275-279

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(95)01278-8 GOOGLE SCHOLAR
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