Bonding and morphology study of carbon nitride films obtained by dual ion beam sputtering

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Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Año de publicación: 2000

Volumen: 18

Número: 2

Páginas: 515-523

Tipo: Artículo

DOI: 10.1116/1.582218 GOOGLE SCHOLAR
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