Pulsed rf-GD-TOFMS for depth profile analysis of ultrathin layers using the analyte prepeak region
- Pisonero, J.
- Valledor, R.
- Licciardello, A.
- Quirós, C.
- Martín, J.I.
- Sanz-Medel, A.
- Bordel, N.
ISSN: 1618-2642, 1618-2650
Any de publicació: 2012
Volum: 403
Número: 8
Pàgines: 2437-2448
Tipus: Article