Thickness determination of subnanometer layers using laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry

  1. Hattendorf, B.
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  3. Günther, D.
  4. Bordel, N.
Revista:
Analytical Chemistry

ISSN: 0003-2700 1520-6882

Año de publicación: 2012

Volumen: 84

Número: 20

Páginas: 8771-8776

Tipo: Artículo

DOI: 10.1021/AC302137X GOOGLE SCHOLAR