Thickness determination of subnanometer layers using laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry
- Hattendorf, B.
- Pisonero, J.
- Günther, D.
- Bordel, N.
ISSN: 0003-2700, 1520-6882
Año de publicación: 2012
Volumen: 84
Número: 20
Páginas: 8771-8776
Tipo: Artículo