Spatial characterization of pressure-based plasma regimes in a radiofrequency glow discharge by using optical emission spectroscopy

  1. Valledor, R.
  2. Pisonero, J.
  3. Nelis, T.
  4. Bordel, N.
Revista:
Journal of Analytical Atomic Spectrometry

ISSN: 0267-9477,  1364-5544

Año de publicación: 2011

Volumen: 26

Número: 4

Páginas: 758-765

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1039/C0JA00177E GOOGLE SCHOLAR
Fuente de los datos: Scopus