An approach to calculate sputtering rates in glow discharges by using a new crater volume evaluation method

  1. Martín, A.
  2. Martínez, A.
  3. Pereiro, R.
  4. Bordel, N.
  5. Sanz-Medel, A.
Revista:
Spectrochimica Acta - Part B Atomic Spectroscopy

ISSN: 0584-8547

Año de publicación: 2007

Volumen: 62

Número: 11

Páginas: 1263-1268

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.SAB.2007.10.012 GOOGLE SCHOLAR
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