Quantitative REELS of amorphous carbon and carbon nitride films

  1. Prieto, P.
  2. Quirós, C.
  3. Elizalde, E.
  4. Sanz, J.M.
Revista:
Surface and Interface Analysis

ISSN: 0142-2421

Año de publicación: 2004

Volumen: 36

Número: 8

Páginas: 820-823

Tipo: Aportación congreso

DOI: 10.1002/SIA.1773 GOOGLE SCHOLAR
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