Role of the plasma in the growth of amorphous carbon films by pulsed laser deposition

  1. Díaz, J.
  2. Ferrer, S.
  3. Comin, F.
Zeitschrift:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Datum der Publikation: 1998

Ausgabe: 84

Nummer: 1

Seiten: 572-576

Art: Artikel

DOI: 10.1063/1.368062 GOOGLE SCHOLAR